- 专利标题： Method for recovering dimethyl sulfoxide from recovered resist remover
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申请号： US16630630申请日： 2018-07-31
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公开(公告)号： US11028047B2公开(公告)日： 2021-06-08
- 发明人: Kunio Mayahara , Koji Tamura , Akinobu Takeda
- 申请人： KURARAY CO., LTD.
- 申请人地址： JP Kurashiki
- 专利权人： KURARAY CO., LTD.
- 当前专利权人： KURARAY CO., LTD.
- 当前专利权人地址： JP Kurashiki
- 代理机构： Oblon, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P.
- 优先权： JPJP2017-149846 20170802
- 国际申请： PCT/JP2018/028539 WO 20180731
- 国际公布： WO2019/026868 WO 20190207
- 主分类号： B01D3/34
- IPC分类号： B01D3/34 ; C07C315/06 ; C07C29/80
摘要：
A method for recovering dimethyl sulfoxide, including a step of contacting a recovered resist remover containing at least one compound selected from the group consisting of glycol ether, glycol and triol, and dimethyl sulfoxide with water and performing distillation.
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