发明申请
- 专利标题： Phototool coating
- 专利标题（中）： Phototool涂层
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申请号： US10645020申请日： 2003-08-21
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公开(公告)号： US20050042553A1公开(公告)日： 2005-02-24
- 发明人: David Lu , Mark Pellerite , Richard Flynn
- 申请人： David Lu , Mark Pellerite , Richard Flynn
- 专利权人： 3M Innovative Properties Company
- 当前专利权人： 3M Innovative Properties Company
- 主分类号： G03F1/14
- IPC分类号： G03F1/14 ; G03F7/00 ; G03F7/20
摘要：
A phototool having a fluorinated phosph(on)ate coating and methods of using the phototool.
公开/授权文献
- US07189479B2 Phototool coating 公开/授权日：2007-03-13
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