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发明申请
US20050105792A1 Enhanced uniqueness for pattern recognition 失效
增强模式识别的唯一性

  • 专利标题： Enhanced uniqueness for pattern recognition
  • 专利标题（中）： 增强模式识别的唯一性
  • 申请号： US11005997
    申请日： 2004-12-06
  • 公开(公告)号： US20050105792A1
    公开(公告)日： 2005-05-19
  • 发明人: Gary Cao , Alan Wong
  • 申请人： Gary Cao , Alan Wong
  • 主分类号： G06T7/00
  • IPC分类号： G06T7/00 ;  H01L23/544 ;  G06K9/00
Enhanced uniqueness for pattern recognition
摘要：
The present invention describes a test structure with a first set of features which is a subset of product features; and a second set of features adjacent to the first set of features, the second set occupying a smaller area than the first set and the second set being similar to the first set yet being distinguishable from surrounding structures.
摘要（中）：

本发明描述了具有第一组特征的测试结构，其是产品特征的子集; 以及与所述第一组特征相邻的第二组特征，所述第二组占据比所述第一组更小的面积，并且所述第二组与第一组相似，但是与周围结构可区分。

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