发明申请
- 专利标题： Method for forming a planar mirror using a sacrificial oxide
- 专利标题（中）： 使用牺牲氧化物形成平面镜的方法
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申请号： US10909074申请日： 2004-07-30
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公开(公告)号： US20060024620A1公开(公告)日： 2006-02-02
- 发明人: Eric Nikkel , Michael Monroe , Mickey Szepesi
- 申请人： Eric Nikkel , Michael Monroe , Mickey Szepesi
- 主分类号： G02B26/08
- IPC分类号： G02B26/08
摘要：
A micro electromechanical system (MEMS) mirror, comprising a displaceable hinged member, a mirror plate, and a plurality of mirror support elements. The mirror plate has a planar mirror face affixed thereto. The plurality of mirror support elements extend between the displaceable hinged member and the mirror plate.
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