发明申请
- 专利标题： Variable illumination source
- 专利标题（中）： 可变照明光源
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申请号： US11091927申请日： 2005-03-29
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公开(公告)号： US20070013888A1公开(公告)日： 2007-01-18
- 发明人: Donis Flagello , Robert Socha , James Greeneich
- 申请人： Donis Flagello , Robert Socha , James Greeneich
- 申请人地址： NL Veldhoven
- 专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人地址： NL Veldhoven
- 主分类号： G03B27/54
- IPC分类号： G03B27/54
摘要：
An apparatus and method for providing a variable illumination field for use in lithographic imaging for semiconductor manufacturing includes providing a an illumination system including a variable optical element having an array of addressable elements, each addressable element constructed and arranged to have a variable transmittance.
公开/授权文献
- US07317506B2 Variable illumination source 公开/授权日：2008-01-08
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