Multi-level layer

发明申请

US20070077525A1 Multi-level layer 有权

标题翻译：多级层

专利标题： Multi-level layer
专利标题（中）： 多级层
申请号： US11243614

申请日： 2005-10-05
公开(公告)号： US20070077525A1

公开(公告)日： 2007-04-05
发明人: Alan Davis , Colin Davis , Mohammed Shaarawi , Bradley Chung , Jeremy Donaldson , Joe Stout
申请人： Alan Davis , Colin Davis , Mohammed Shaarawi , Bradley Chung , Jeremy Donaldson , Joe Stout
专利权人： Hewlett-Packard Development Company LP
当前专利权人： Hewlett-Packard Development Company LP
主分类号： G03F7/20
IPC分类号： G03F7/20

摘要：

Various methods and apparatus relating to a multi-level layer are disclosed.

摘要（中）：

公开了与多层相关的各种方法和装置。

公开/授权文献

信息查询

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IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/20	.曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B27/00）