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发明申请
US20070230060A1 THIN FILM PIEZOELECTRIC MICRO-ACTUATOR FOR HEAD GIMBAL ASSEMBLY 审中-公开
薄膜压电微型致动器，用于头盖组件

  • 专利标题： THIN FILM PIEZOELECTRIC MICRO-ACTUATOR FOR HEAD GIMBAL ASSEMBLY
  • 专利标题（中）： 薄膜压电微型致动器，用于头盖组件
  • 申请号： US11757945
    申请日： 2007-06-04
  • 公开(公告)号： US20070230060A1
    公开(公告)日： 2007-10-04
  • 发明人: Ming Gao Yao , Masashi Shiraishi
  • 申请人： Ming Gao Yao , Masashi Shiraishi
  • 优先权： CNPCT/CN03/01007 20031127
  • 主分类号： G11B5/66
  • IPC分类号： G11B5/66
THIN FILM PIEZOELECTRIC MICRO-ACTUATOR FOR HEAD GIMBAL ASSEMBLY
摘要：
A thin film piezoelectric (PZT) micro-actuator is disclosed. Two thin film pieces of PZT are couple to a slider support frame. The slider support frame has a slider support connected by a leading beam to a base. The two thin film pieces of PZT connect the slider support to the base. Applied voltage causes the thin film pieces of PZT to contract or expand, moving the slider support in relation to the base. The thin film pieces of PZT can be single or multiple layers. The thin film PZT micro-actuator can be coupled to the suspension by anisotropic conductive film, with the thin film pieces of PZT between the slider support frame and the suspension. Alternately, the thin film PZT micro-actuator can be coupled to the suspension with the thin film pieces of PZT exterior to the slider support frame and the suspension.
摘要（中）：

公开了薄膜压电（PZT）微致动器。 PZT的两片薄膜片耦合到滑块支架上。 滑动器支撑框架具有通过前导梁连接到基座的滑块支撑件。 PZT的两个薄膜片将滑块支架连接到底座上。 施加的电压导致PZT的薄膜片收缩或膨胀，相对于底座移动滑块支架。 PZT的薄膜片可以是单层或多层。 薄膜PZT微致动器可以通过各向异性导电膜耦合到悬浮液，PZT的薄膜片在滑块支撑框架和悬架之间。 或者，薄膜PZT微致动器可以连接到悬架，其中PZT的薄膜片在滑块支撑框架和悬架外部。

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