Amorphous silicon crystallization using combined beams from optically pumped semiconductor lasers

发明申请

US20080014685A1 Amorphous silicon crystallization using combined beams from optically pumped semiconductor lasers 失效

标题翻译：使用光泵浦半导体激光器的组合光束进行非晶硅结晶

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专利标题： Amorphous silicon crystallization using combined beams from optically pumped semiconductor lasers
专利标题（中）： 使用光泵浦半导体激光器的组合光束进行非晶硅结晶
申请号： US11487798

申请日： 2006-07-17
公开(公告)号： US20080014685A1

公开(公告)日： 2008-01-17
发明人: Sergei V. Govorkov , R. Russel Austin , Joerg Ferber
申请人： Sergei V. Govorkov , R. Russel Austin , Joerg Ferber
主分类号： H01L21/84
IPC分类号： H01L21/84 ; H01L21/00

Amorphous silicon crystallization using combined beams from optically pumped semiconductor lasers

摘要：

An amorphous silicon layer on a glass substrate is crystallized by concentrating CW radiation from a number of OPS-lasers into a line of light on the layer. The layer is moved with respect to the line of light to control the dwell time of the line on any location on the layer and to crystallize an extended area of the layer.

摘要（中）：

通过将来自多个OPS激光器的CW辐射集中到该层上的光线中，玻璃基板上的非晶硅层被结晶。该层相对于光线移动，以控制该层在该层上任何位置上的停留时间并使该层的延伸区域结晶。

公开/授权文献

US07615722B2 Amorphous silicon crystallization using combined beams from optically pumped semiconductor lasers 公开/授权日：2009-11-10

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/70	.由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造（由预制电组件组成的组装件的制造入H05K3/00，H05K13/00）
H01L21/77	..在公共衬底中或上面形成的由许多固态元件或集成电路组成的器件的制造或处理（电可编程只读存储器或其多步骤的制造方法入H01L27/115）
H01L21/78	...把衬底连续地分成多个独立的器件（改变表面物理特性或者半导体形状的切割入H01L21/304）
H01L21/82	....制造器件，例如每一个由许多元件组成的集成电路
H01L21/84	.....衬底不是半导体的，例如绝缘体