发明申请
- 专利标题： Wafer probe
-
申请号： US11975244申请日： 2007-10-18
-
公开(公告)号： US20080045028A1公开(公告)日： 2008-02-21
- 发明人: Leonard Hayden , John Martin , Mike Andrews
- 申请人： Leonard Hayden , John Martin , Mike Andrews
- 专利权人： Cascade Microtech, Inc.
- 当前专利权人： Cascade Microtech, Inc.
- 主分类号： H01R43/00
- IPC分类号： H01R43/00 ; H01L21/302
摘要：
The present invention relates to a probe for testing of integrated circuits or other microelectronic devices.
公开/授权文献
- US07761983B2 Method of assembling a wafer probe 公开/授权日：2010-07-27
信息查询
