发明申请
- 专利标题： Microfabricated temperature sensor
- 专利标题（中）： 微型温度传感器
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申请号： US11880130申请日： 2007-07-20
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公开(公告)号： US20080089383A1公开(公告)日： 2008-04-17
- 发明人: Chang Liu , Jack Chen , Jonathan Engel
- 申请人： Chang Liu , Jack Chen , Jonathan Engel
- 主分类号： G01N25/18
- IPC分类号： G01N25/18 ; G01K7/16
摘要：
A microfabricated temperature sensor. The sensor comprises a polymer-based substrate and a resistance temperature device (RTD) disposed on the substrate. The RTD comprises a thin-film metal.
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