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发明申请
US20080143364A1 Forced air cooling of components on a probecard 有权
强制风冷部件的问题

  • 专利标题： Forced air cooling of components on a probecard
  • 专利标题（中）： 强制风冷部件的问题
  • 申请号： US11639010
    申请日： 2006-12-14
  • 公开(公告)号： US20080143364A1
    公开(公告)日： 2008-06-19
  • 发明人: Romi Mayder , John Andberg
  • 申请人： Romi Mayder , John Andberg
  • 主分类号： G01R1/02
  • IPC分类号： G01R1/02
Forced air cooling of components on a probecard
摘要：
A probe card with an air channel over the active components for cooling the active components on the probe card is provided.
摘要（中）：

提供了一种探针卡，其具有用于冷却探针卡上的有源部件的有源部件上的空气通道。

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