发明申请
- 专利标题： SOFT PELLICLE AND METHOD OF MAKING SAME
- 专利标题（中）： 软胶囊及其制备方法
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申请号： US12241624申请日： 2008-09-30
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公开(公告)号： US20090081567A1公开(公告)日： 2009-03-26
- 发明人: Paul A. Zimmerman , Chris Van Peski
- 申请人： Paul A. Zimmerman , Chris Van Peski
- 专利权人： SEMATECH, INC.
- 当前专利权人： SEMATECH, INC.
- 主分类号： G03F1/00
- IPC分类号： G03F1/00
摘要：
The present invention relates generally to the fields of semiconductor lithography. More particularly, it concerns methods, compositions, and apparatuses relating to 157 nm, 167 nm, 193 nm, 248 nm, 365 nm, and 436 nm soft pellicles and the use of perfluorinated polymers in the creation of pellicles.
公开/授权文献
- US07709180B2 Soft pellicle and method of making same 公开/授权日：2010-05-04
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