发明申请
- 专利标题： ENERGY FILTER FOR COLD FIELD EMISSION ELECTRON BEAM APPARATUS
- 专利标题（中）： 用于冷场发射电子束装置的能量过滤器
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申请号： US12234453申请日： 2008-09-19
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公开(公告)号： US20090101819A1公开(公告)日： 2009-04-23
- 发明人: FANG ZHOU , JURGEN FROSIEN , PAVEL ADAMEC
- 申请人： FANG ZHOU , JURGEN FROSIEN , PAVEL ADAMEC
- 申请人地址： DE Heimstetten
- 专利权人： ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fur Halbleiterpruftechnik mbH
- 当前专利权人： ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft fur Halbleiterpruftechnik mbH
- 当前专利权人地址： DE Heimstetten
- 优先权： EP07020340.1 20071017
- 主分类号： G01N23/00
- IPC分类号： G01N23/00 ; G01J1/00
摘要：
An electron beam apparatus and a method for providing an energy-filtered primary electron beam are described. Therein, a primary electron beam having an asymmetric first energy distribution is generated by means of an electron source. The primary electron beam is high-pass energy filtered using a retarding lens.
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