发明申请
- 专利标题： Piezoelectric actuator and manufacturing method thereof, magnetic disk apparatus
- 专利标题（中）： 压电致动器及其制造方法，磁盘装置
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申请号： US12458493申请日： 2009-07-14
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公开(公告)号： US20090271963A1公开(公告)日： 2009-11-05
- 发明人: Shigeyoshi Umemiya , Masaharu Hida , Masao Kondo
- 申请人： Shigeyoshi Umemiya , Masaharu Hida , Masao Kondo
- 申请人地址： JP Kawasaki
- 专利权人： FUJITSU LIMITED
- 当前专利权人： FUJITSU LIMITED
- 当前专利权人地址： JP Kawasaki
- 优先权： JP2006-172829 20060622
- 主分类号： H01L41/22
- IPC分类号： H01L41/22
摘要：
A piezoelectric actuator comprises a body of a piezoelectric material, electrode patterns embedded in the body, and a sidewall protective film of a piezoelectric material covering at least a sidewall surface of the body, the sidewall protective film covering the electrode patterns at the sidewall surface of the body.