发明申请
US20090273768A1 Liquid for immersion exposure, method of purifying the same,and immersion exposure method
审中-公开
用于浸渍曝光的液体，其净化方法和浸渍曝光方法
- 专利标题： Liquid for immersion exposure, method of purifying the same,and immersion exposure method
- 专利标题（中）： 用于浸渍曝光的液体，其净化方法和浸渍曝光方法
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申请号： US11919245申请日： 2006-04-26
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公开(公告)号： US20090273768A1公开(公告)日： 2009-11-05
- 发明人: Akifumi Kagayama , Takashi Nakano , Hiroaki Tamatani , Norio Nakayama
- 申请人： Akifumi Kagayama , Takashi Nakano , Hiroaki Tamatani , Norio Nakayama
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Mitsui Chemicals, Inc.
- 当前专利权人： Mitsui Chemicals, Inc.
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 优先权： JP2005128504 20050426
- 国际申请： PCT/JP2006/308722 WO 20060426
- 主分类号： G03B27/32
- IPC分类号： G03B27/32 ; C07C7/12 ; C07C9/00 ; C07C13/00
摘要：
A saturated hydrocarbon compound is brought into contact at least with a first adsorbent and a second adsorbent to obtain a liquid for immersion exposure containing the saturated hydrocarbon compound with a purity of 99.5 wt % or more.
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