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发明申请
US20090309932A1 HEATER OF AN INKJET PRINTHEAD AND METHOD OF MANUFACTURING THE HEATER 有权
喷嘴加热器和制造加热器的方法

HEATER OF AN INKJET PRINTHEAD AND METHOD OF MANUFACTURING THE HEATER
摘要：
A heater of a thermal inkjet printhead. The heater is formed of tantalum aluminum oxynitride (Ta—Al—ON), wherein the tantalum aluminum oxynitride is formed of about 30 to about 60 atomic % tantalum, about 10 to about 30 atomic % aluminum, about 5 to about 30 atomic % oxygen, and about 5 to about 30 atomic % nitrogen.
摘要（中）：

热喷墨打印头的加热器。 加热器由钽氮氧化铝（Ta-Al-ON）形成，其中钽铝氧氮化物由约30至约60原子％的钽，约10至约30原子％的铝，约5至约30原子％的氧， ，和约5至约30原子％的氮气。

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