发明申请
- 专利标题： METHOD OF CURING METAL ALKOXIDE-CONTAINING FILMS
- 专利标题（中）： 固化含金属烷氧化物膜的方法
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申请号： US12521604申请日： 2007-12-28
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公开(公告)号： US20100068382A1公开(公告)日： 2010-03-18
- 发明人: Mark A. Strobel , Michael J. Ulsh , Christopher S. Lyons , Judith M. Invie
- 申请人： Mark A. Strobel , Michael J. Ulsh , Christopher S. Lyons , Judith M. Invie
- 国际申请： PCT/US07/89098 WO 20071228
- 主分类号： C23C16/448
- IPC分类号： C23C16/448 ; C23C16/18 ; B05D3/02
摘要：
A method for forming an inorganic or hybrid organic/inorganic layer on a substrate, which method comprises applying a metal alkoxide to form a layer atop the substrate and exposing the metal alkoxide layer to heat from a catalytic combustion heater in the presence of water to cure the layer is provided.
公开/授权文献
- US08227040B2 Method of curing metal alkoxide-containing films 公开/授权日：2012-07-24
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