发明申请
- 专利标题： INKJET HEAD AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
- 专利标题（中）： 喷嘴头及其制造方法
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申请号： US12781218申请日： 2010-05-17
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公开(公告)号： US20100225712A1公开(公告)日： 2010-09-09
- 发明人: Takehito Okabe , Nobuhiko Sato , Makoto Kurotobi , Kenichi Takeda , Toshihiro Ifuku
- 申请人： Takehito Okabe , Nobuhiko Sato , Makoto Kurotobi , Kenichi Takeda , Toshihiro Ifuku
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 优先权： JP2004-258367 20040906
- 主分类号： B41J2/045
- IPC分类号： B41J2/045
摘要：
A method for manufacturing an inkjet head includes providing a piezoelectric substrate having a porous structure, a diaphragm on the porous structure, and a piezoelectric substance layer on the diaphragm, and forming a cavity by etching out the porous structure from the piezoelectric substrate.
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