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发明申请
US20100315627A1 Apparatus and Method for Enhancing the Electromagnetic Signal of a Sample 有权
用于增强样品电磁信号的装置和方法

  • 专利标题： Apparatus and Method for Enhancing the Electromagnetic Signal of a Sample
  • 专利标题（中）： 用于增强样品电磁信号的装置和方法
  • 申请号： US12787702
    申请日： 2010-05-26
  • 公开(公告)号： US20100315627A1
    公开(公告)日： 2010-12-16
  • 发明人: Wen-Li Wu , Shuhul Kang
  • 申请人： Wen-Li Wu , Shuhul Kang
  • 主分类号： G01N21/01
  • IPC分类号： G01N21/01 ;  B05D3/00
Apparatus and Method for Enhancing the Electromagnetic Signal of a Sample
摘要：
The present invention is an apparatus and method for enhancing the electromagnetic signal of a sample for ellipsometry which uses at least one auxiliary layer and at least one substrate layer.
摘要（中）：

本发明是用于增强用于椭圆偏振测量的样品的电磁信号的装置和方法，其使用至少一个辅助层和至少一个衬底层。

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