发明申请
- 专利标题： Selective Etch of Laser Scribed Solar Cell Substrate
- 专利标题（中）： 激光刻蚀太阳能电池基板的选择性蚀刻
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申请号： US12195946申请日： 2008-08-21
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公开(公告)号： US20100323471A1公开(公告)日： 2010-12-23
- 发明人: Hien-Minh Huu Le , Tzay-Fa Su , David Tanner
- 申请人： Hien-Minh Huu Le , Tzay-Fa Su , David Tanner
- 申请人地址： US CA Santa Clara
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： US CA Santa Clara
- 主分类号： H01L31/0376
- IPC分类号： H01L31/0376
摘要：
Methods for making solar cells are described. The methods include selectively etching strips formed by laser scribing to remove oxides formed during laser scribing.
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