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发明申请
US20120056282A1 MEMS Transducer for an Audio Device 审中-公开
用于音频设备的MEMS传感器

MEMS Transducer for an Audio Device
摘要：
A MEMS transducer (10) for an audio device comprises a substrate (12), a membrane (14) attached to the substrate (12), and a back-electrode (18) attached to the substrate (12), wherein a resonant frequency of the back-electrode (18) is matched to a resonant frequency of the membrane (14). Further, a method of manufacturing a MEMS transducer (19) for an audio device comprises attaching a membrane to a substrate (12), attaching a back-electrode (18) to the substrate (12), matching a resonant frequency of the back-electrode (18) to a resonant frequency of the membrane (14).
摘要（中）：

用于音频装置的MEMS换能器（10）包括基板（12），附着到基板（12）的膜（14）和附接到基板（12）的背电极（18），其中谐振频率 （18）的谐振频率匹配。 此外，制造用于音频装置的MEMS换能器（19）的方法包括将膜附接到基板（12），将背电极（18）附接到基板（12），匹配背面电极（18）的谐振频率， 电极（18）到膜（14）的共振频率。

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