发明申请
- 专利标题： Local Printing Apparatus And Method
- 专利标题（中）： 本地印刷设备及方法
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申请号： US13333403申请日： 2011-12-21
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公开(公告)号： US20120160112A1公开(公告)日： 2012-06-28
- 发明人: Eun Soo Hwang , Jin Sung Kim , Young Jeong Kim , Jong Woo Lee , Young Tae Cho , Dong Min Kim , Tae Young Ra , Eui Sun Choi , Eun Ah Park
- 申请人： Eun Soo Hwang , Jin Sung Kim , Young Jeong Kim , Jong Woo Lee , Young Tae Cho , Dong Min Kim , Tae Young Ra , Eui Sun Choi , Eun Ah Park
- 申请人地址： KR Suwon-si
- 专利权人： SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
- 当前专利权人： SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
- 当前专利权人地址： KR Suwon-si
- 优先权： KR10-2010-0135434 20101227
- 主分类号： B44B5/00
- IPC分类号： B44B5/00 ; B44C1/24 ; B41K1/38
摘要：
According to example embodiments, a printing apparatus includes a wafer delivery unit configured to move and support a wafer, an optical microscope configured to inspect the wafer, a pattern transfer unit configured to display a position of a defect on the wafer detected using the optical microscope.
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