发明申请
- 专利标题： Design-Based Inspection Using Repeating Structures
- 专利标题（中）： 使用重复结构的设计检验
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申请号： US13420224申请日： 2012-03-14
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公开(公告)号： US20120243773A1公开(公告)日： 2012-09-27
- 发明人: Ashok V. Kulkarni , Chien-Huei (Adam) Chen
- 申请人： Ashok V. Kulkarni , Chien-Huei (Adam) Chen
- 申请人地址： US CA Milpitas
- 专利权人： KLA-TENCOR CORPORATION
- 当前专利权人： KLA-TENCOR CORPORATION
- 当前专利权人地址： US CA Milpitas
- 主分类号： G06K9/00
- IPC分类号： G06K9/00
摘要：
Systems and methods for design-based inspection using repeating structures are provided.
公开/授权文献
- US09170211B2 Design-based inspection using repeating structures 公开/授权日：2015-10-27
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