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发明申请
US20120256517A1 Method for Microfabrication of a Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer Comprising a Diamond Membrane and a Transducer Thereof 有权
包含金刚石膜及其传感器的电容式微加工超声波传感器的微加工方法

  • 专利标题： Method for Microfabrication of a Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer Comprising a Diamond Membrane and a Transducer Thereof
  • 专利标题（中）： 包含金刚石膜及其传感器的电容式微加工超声波传感器的微加工方法
  • 申请号： US13083599
    申请日： 2011-04-11
  • 公开(公告)号： US20120256517A1
    公开(公告)日： 2012-10-11
  • 发明人: Baris Bayram
  • 申请人： Baris Bayram
  • 主分类号： H02N1/00
  • IPC分类号： H02N1/00 ;  H04R31/00
Method for Microfabrication of a Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer Comprising a Diamond Membrane and a Transducer Thereof
摘要：
This invention relates generally to capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUTs), particularly to those comprising diamond or diamond like carbon membranes and a method of microfabrication of such CMUTs, wherein the membrane of diamond or diamond like carbon is attached to the substrate by plasma-activated direct bonding of an interlayer of high temperature oxide (HTO).
摘要（中）：

本发明一般涉及电容微加工超声波换能器（CMUT），特别涉及包括金刚石或类似金刚石的碳膜的那些，以及这种CMUT的微细加工方法，其中金刚石或类似金刚石的碳膜通过等离子体激活 直接键合高温氧化物（HTO）的中间层。

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