发明申请
- 专利标题： Database-Driven Cell-to-Cell Reticle Inspection
- 专利标题（中）： 数据库驱动的细胞到细胞掩模检查
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申请号： US13809825申请日： 2012-04-23
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公开(公告)号： US20130111417A1公开(公告)日： 2013-05-02
- 发明人: Carl Hess , John D. Miller , Shi Rui-Fang , Chun Guan
- 申请人： Carl Hess , John D. Miller , Shi Rui-Fang , Chun Guan
- 申请人地址： US NE Milpitas
- 专利权人： KLA-TENCOR CORPORATION
- 当前专利权人： KLA-TENCOR CORPORATION
- 当前专利权人地址： US NE Milpitas
- 国际申请： PCT/US12/34681 WO 20120423
- 主分类号： G06F17/50
- IPC分类号： G06F17/50
摘要：
A semiconductor inspection apparatus identifies regions of a reticle or semiconductor wafer appropriate for cell-to-cell inspection by analyzing a semiconductor design database. Appropriate regions can be identified in a region map for use by offline inspection tools.
公开/授权文献
- US08914754B2 Database-driven cell-to-cell reticle inspection 公开/授权日：2014-12-16
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