发明申请
- 专利标题： DEPOSITION APPARATUS, METHOD OF FORMING THIN FILM USING THE DEPOSITION APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING ORGANIC LIGHT EMITTING DISPLAY APPARATUS USING THE DEPOSITION APPARATUS
- 专利标题（中）： 沉积装置，使用沉积装置形成薄膜的方法，以及使用沉积装置制造有机发光显示装置的方法
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申请号： US14269175申请日： 2014-05-04
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公开(公告)号： US20150031167A1公开(公告)日： 2015-01-29
- 发明人: Myung-Soo HUH , Suk-Won JUNG , Sung-Chul KIM , Sang-Hyuk HONG , Choel-Min JANG
- 申请人： Samsung Display Co., Ltd.
- 申请人地址： KR Yongin-City
- 专利权人： Samsung Display Co., Ltd.
- 当前专利权人： Samsung Display Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： KR Yongin-City
- 优先权： KR10-2013-0088265 20130725
- 主分类号： H01L51/52
- IPC分类号： H01L51/52 ; H01L21/02 ; H01L21/285 ; H01L51/56
摘要：
A deposition apparatus for performing a deposition process on a substrate includes: an injection unit including a plasma generating member which receives a raw material gas and converts the raw material gas to a deposition source material in a radical form; and a plasma processor disposed adjacent to the injection unit and facing a side of the injection unit, wherein the plasma processor performs a plasma process in a direction facing the substrate.
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