发明申请
US20160377972A1 GLASS CERAMIC FOR ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF
审中-公开
用于超紫外线光刻的玻璃陶瓷及其制造方法
- 专利标题： GLASS CERAMIC FOR ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF
- 专利标题（中）： 用于超紫外线光刻的玻璃陶瓷及其制造方法
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申请号： US15107054申请日： 2014-12-19
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公开(公告)号： US20160377972A1公开(公告)日： 2016-12-29
- 发明人: Ralf Hofmann , Majeed Foad , Cara Beasley
- 申请人： APPLIED MATERIALS, INC.
- 国际申请： PCT/US14/71690 WO 20141219
- 主分类号： G03F1/22
- IPC分类号： G03F1/22 ; C03C17/245
摘要：
An extreme ultraviolet mask and method of manufacture thereof includes: providing a glass-ceramic block; forming a glass-ceramic substrate from the glass-ceramic block; and depositing a planarization layer on the glass-ceramic substrate.
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