- 专利标题： THIN FILM TRANSISTOR, ARRAY SUBSTRATE AND DISPLAY DEVICE HAVING THE SAME, AND METHOD OF MANUFACTURING THEREOF
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申请号： US15714018申请日： 2017-09-25
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公开(公告)号： US20180019344A1公开(公告)日： 2018-01-18
- 发明人: Liangchen Yan
- 申请人： BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD.
- 申请人地址： CN Beijing
- 专利权人： BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD.
- 当前专利权人： BOE TECHNOLOGY GROUP CO., LTD.
- 当前专利权人地址： CN Beijing
- 优先权： CN201510239500.5 20150512
- 主分类号： H01L29/786
- IPC分类号： H01L29/786 ; H01L21/477 ; H01L21/02 ; H01L21/423 ; H01L29/66 ; H01L29/24
摘要：
The disclosure provides a method of manufacturing a thin film transistor on a base substrate by patterning an active layer comprising a metal oxynitride, and treating the active layer with a plasma comprising oxygen.
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