发明授权
- 专利标题： Method and apparatus for investigating variations in surface work function by electron beam scanning
- 专利标题（中）： 通过电子束扫描研究表面功能变化的方法和装置
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申请号： US41448364申请日： 1964-11-27
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公开(公告)号： US3337729A公开(公告)日： 1967-08-22
- 发明人: THOMAS RICHARD E , HAAS GEORGE A
- 申请人： THOMAS RICHARD E , HAAS GEORGE A
- 专利权人： Richard E Thomas,George A Haas
- 当前专利权人： Richard E Thomas,George A Haas
- 优先权： US41448364 1964-11-27
- 主分类号： G01N27/00
- IPC分类号： G01N27/00 ; G01Q60/00 ; H01J37/256 ; H01J37/28
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