发明授权
US4498045A Apparatus and method for determining surface contour of piezoelectric
wafers
失效
用于确定压电晶片表面轮廓的装置和方法
- 专利标题： Apparatus and method for determining surface contour of piezoelectric wafers
- 专利标题（中）： 用于确定压电晶片表面轮廓的装置和方法
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申请号： US382426申请日： 1982-05-27
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公开(公告)号： US4498045A公开(公告)日： 1985-02-05
- 发明人: Lawrence N. Dworsky
- 申请人： Lawrence N. Dworsky
- 申请人地址： IL Schaumburg
- 专利权人： Motorola, Inc.
- 当前专利权人： Motorola, Inc.
- 当前专利权人地址： IL Schaumburg
- 主分类号： G01B7/06
- IPC分类号： G01B7/06 ; G01B7/28 ; G01N27/00
摘要：
An apparatus and a method utilizing a localized electrical field to precisely determine the surface contour of a substantially flat wafer of piezoelectric material having a slight convexity in its opposing faces.
公开/授权文献
- US5677979A Video incident capture system 公开/授权日：1997-10-14
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