发明授权
- 专利标题： Method of projecting photoelectron image
- 专利标题（中）： 投影光电子图像的方法
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申请号： US144275申请日： 1988-01-15
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公开(公告)号： US4789786A公开(公告)日： 1988-12-06
- 发明人: Hiroshi Yasuda , Ichiro Honjo
- 申请人： Hiroshi Yasuda , Ichiro Honjo
- 申请人地址： JPX Kawasaki
- 专利权人： Fujitsu Limited
- 当前专利权人： Fujitsu Limited
- 当前专利权人地址： JPX Kawasaki
- 优先权： JPX59-243342 19841120; JPX59-243343 19841120; JPX59-252151 19841129
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01J37/317 ; H01L21/30
摘要：
A method for projecting a photelectron image includes providing a mask substrate, and selectively contacting a layer which lowers the work function of the mask substrate thereto. Photoelectrons are emitted from the contacted portion.
公开/授权文献
- US4358929A Solar power system 公开/授权日：1982-11-16
信息查询
IPC分类:
