发明授权
- 专利标题： Fabricating lens array structures for imaging devices
- 专利标题（中）： 制造用于成像装置的透镜阵列结构
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申请号： US111361申请日： 1993-08-24
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公开(公告)号： US5384231A公开(公告)日： 1995-01-24
- 发明人: James A. Johnson , Madhav Mehra
- 申请人： James A. Johnson , Madhav Mehra
- 申请人地址： NY Rochester
- 专利权人： Eastman Kodak Company
- 当前专利权人： Eastman Kodak Company
- 当前专利权人地址： NY Rochester
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00 ; G03F7/26
摘要：
A method of forming a planarized layer on a CCD device to permit a lens array to be formed which includes etching a B.sub.2 O.sub.3 layer provided on a conformally coated SiO.sub.2 layer until a sufficient amount of the deposited B.sub.2 O.sub.3 layer is removed to provide a planarized surface.
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