发明授权
US5391956A Electron emitting device, method for producing the same and display
apparatus and electron beam drawing apparatus utilizing the same
失效
电子发射器件，其制造方法和显示装置以及利用该发光器件的电子束描绘装置
- 专利标题： Electron emitting device, method for producing the same and display apparatus and electron beam drawing apparatus utilizing the same
- 专利标题（中）： 电子发射器件，其制造方法和显示装置以及利用该发光器件的电子束描绘装置
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申请号： US994459申请日： 1992-12-21
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公开(公告)号： US5391956A公开(公告)日： 1995-02-21
- 发明人: Nobuo Watanabe , Takeo Tsukamoto , Masahiko Okunuki
- 申请人： Nobuo Watanabe , Takeo Tsukamoto , Masahiko Okunuki
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX1-233937 19890907; JPX1-233938 19890907; JPX1-320823 19891211
- 主分类号： H01J1/304
- IPC分类号： H01J1/304 ; H01J9/02 ; H01J1/30
摘要：
An electron emitting device with an insulating layer on a substrate. The insulating layer has a hollow part in which a conical electrode is formed. A conductive layer on the insulating layer has an aperture on the hollow part of the insulating layer. The hollow part is formed by etching utilizing an ion beam.
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