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US5574282A Thermal isolation for hybrid thermal detectors 失效
混合热探测器的热隔离

Thermal isolation for hybrid thermal detectors
摘要：
A hybrid thermal detector (10, 110) includes a focal plane array (20, 120), a thermal isolation structure (40, 140), and an integrated circuit substrate (60, 160). The focal plane array (20, 120) includes thermal sensors (30, 130). The thermal isolation structure (40, 140) includes untrimmed mesa-type formations (44, 146, 148) and mesa strip conductors (42, 142, 144) that provide thermal isolation, signal transport, and structural support of the focal plane array (20, 120) when mounted on the integrated circuit substrate (60, 160). Hybrid thermal detector (10) includes a common electrode (28) which provides a bias voltage to all thermal sensors (30). Hybrid thermal detector (110) has electrically isolated thermal sensors (130), each thermal sensor (130) is supported by mesa strip conductors (142, 144), which provide a bias voltage to and receive a signal voltage from the thermal sensor (130). To improve both pixel-substrate and inter-pixel thermal isolation, mesa strip conductors (42, 142, 144) and common electrode (28) may be formed from a thermally insulating material, such as cermet or a semiconductive material. Untrimmed mesa-type formations (44, 146, 148) may be anisotropically etched to remove excess mesa material and improve pixel-substrate thermal isolation.
摘要（中）：

混合热检测器（10,110）包括焦平面阵列（20,120），热隔离结构（40,140）和集成电路衬底（60,160）。 焦平面阵列（20,120）包括热传感器（30,130）。 热隔离结构（40,140）包括提供聚焦平面阵列的热隔离，信号传输和结构支撑的未整形的台面型结构（44,146,148）和台面状导体（42,142,144） 20，120）安装在集成电路基板（60,160）上。 混合式热检测器（10）包括向所有热传感器（30）提供偏置电压的公共电极（28）。 混合热检测器（110）具有电隔离的热传感器（130），每个热传感器（130）由台面状导体（142,144）支撑，其向热传感器（130）提供偏置电压并从其接收信号电压 ）。 为了改进像素 - 衬底和像素间隔热隔离，台状导体（42,142,144）和公共电极（28）可以由绝热材料例如金属陶瓷或半导电材料形成。 可以各向异性地蚀刻未成像的台面型结构（44,146,148）以去除多余的台面材料并改善像素 - 衬底热隔离。

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