发明授权
- 专利标题： Positive-working radiation-sensitive mixture
- 专利标题（中）： 正面工作的辐射敏感混合物
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申请号： US430073申请日： 1995-04-27
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公开(公告)号： US5654121A公开(公告)日： 1997-08-05
- 发明人: Mathias Eichhorn , Gerhard Buhr
- 申请人： Mathias Eichhorn , Gerhard Buhr
- 申请人地址： DEX Leverkusen
- 专利权人： Agfa-Gevaert AG
- 当前专利权人： Agfa-Gevaert AG
- 当前专利权人地址： DEX Leverkusen
- 优先权： DEX4414896.8 19940428
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F7/00 ; G03F7/016 ; G03F7/039 ; H01L21/027 ; G03F7/021 ; G03F7/30
摘要：
The invention relates to a positive-working radiation-sensitive mixture containing a) a polymeric binder having acid-labile groups and b) a compound which forms a strong acid on irradiation, in which the binder simultaneously contains units of the formulae I, II and IIIR.sup.1 --OH (I) ,R.sup.1 --O--CO.sub.2 R.sup.2 (II)R.sup.1 --O--CH.sub.2 --CHR.sup.3 --OH (III).The mixture is used to coat radiation-sensitive recording material which can be used to produce printing plates and photoresists.
公开/授权文献
- US4415743A Furanyl oximes 公开/授权日：1983-11-15