发明授权
- 专利标题： Positioning method and positioning system
- 专利标题（中）： 定位方法和定位系统
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申请号： US448872申请日： 1995-05-24
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公开(公告)号： US5661388A公开(公告)日： 1997-08-26
- 发明人: Hiroshi Kurosawa
- 申请人： Hiroshi Kurosawa
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX6-135224 19940524
- 主分类号： G03F9/00
- IPC分类号： G03F9/00 ; B23Q1/00 ; B23Q1/30 ; B23Q1/34 ; B23Q15/24 ; G03F7/20 ; G05B19/39 ; G05D3/12 ; H01L21/027 ; H01L21/68 ; B23Q16/00 ; B65G49/07
摘要：
A positioning method and positioning system wherein a driving device, for moving a movable table on a rough-motion stage by a small amount, is alternately controlled through a pair of switchable control systems. The amounts by which the table is driven are initially adjusted to the same amounts by the pair of control systems when the paired control systems are switched.
公开/授权文献
- US5188764A Organosol of fluorine-containing polymer 公开/授权日：1993-02-23
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