发明授权
- 专利标题： Optical structure and device manufacturing method using the same
- 专利标题（中）： 光学结构和器件制造方法采用相同的方法
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申请号： US695203申请日： 1996-08-01
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公开(公告)号： US5822133A公开(公告)日： 1998-10-13
- 发明人: Makoto Mizuno , Ryuichi Ebinuma , Toshinori Minowa
- 申请人： Makoto Mizuno , Ryuichi Ebinuma , Toshinori Minowa
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX7-219461 19950807; JPX8-204168 19960716
- 主分类号： G02B7/04
- IPC分类号： G02B7/04 ; G02B3/14 ; G02B7/02 ; G02B26/08 ; G02B27/00 ; G03F7/20 ; H01L21/027 ; H01L21/68 ; G02B15/14
摘要：
An optical component moving device having a driving portion and guiding portion, for moving an optical component, wherein the driving portion includes fluid enclosure system being expandable and contractible and the guiding portion includes a leaf spring.
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