发明授权
- 专利标题： Slip free vertical rack design
- 专利标题（中）： 防滑立式机架设计
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申请号： US903267申请日： 1997-07-25
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公开(公告)号： US5865321A公开(公告)日： 1999-02-02
- 发明人: John A. Tomanovich
- 申请人： John A. Tomanovich
- 申请人地址： MA Worcester
- 专利权人： Saint-Gobain/Norton Industrial Ceramics Corp.
- 当前专利权人： Saint-Gobain/Norton Industrial Ceramics Corp.
- 当前专利权人地址： MA Worcester
- 主分类号： C23C16/458
- IPC分类号： C23C16/458 ; H01L21/205 ; H01L21/22 ; H01L21/324 ; H01L21/673 ; H01L21/683 ; A47F29/00
摘要：
Vertical rack for supporting semiconductor wafers, the rack having either continuously upward angled arms or horizontal arms for providing near center support of the wafers.
公开/授权文献
- US4765204A Method of manufacturing a motionless mixer 公开/授权日：1988-08-23
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IPC分类:
