发明授权
- 专利标题： Polybenzimidazole material with low metallic concentration and a process for production thereof
- 专利标题（中）： 具有低金属浓度的聚苯并咪唑材料及其生产方法
-
申请号： US783008申请日： 1997-01-14
-
公开(公告)号： US5932688A公开(公告)日： 1999-08-03
- 发明人: Makoto Murata
- 申请人： Makoto Murata
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： Hoechst Japan Limited
- 当前专利权人： Hoechst Japan Limited
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX8-021156 19960207
- 主分类号： C08G73/18
- IPC分类号： C08G73/18 ; H01L23/29 ; H01L23/31 ; H01L51/30 ; C08G69/00
摘要：
An improved polybenzimidazole wherein the total concentration of metals other than alkali metal and alkaline earth metals is 10 ppm or less. The resulting polybenzimidazole is industrially useable in parts or components of apparatus for the manufacture of semiconductors and display devices.
公开/授权文献
- US5255996A Method of constructing a roadway 公开/授权日：1993-10-26
信息查询
