发明授权
- 专利标题： Separation of semiconductor material
- 专利标题（中）： 分离半导体材料
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申请号： US410339申请日： 1999-10-01
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公开(公告)号： US6073773A公开(公告)日： 2000-06-13
- 发明人: Reinhard Wolf , Dirk Flottmann
- 申请人： Reinhard Wolf , Dirk Flottmann
- 申请人地址： DEX Munchen
- 专利权人： Wacker-Chemie GmbH
- 当前专利权人： Wacker-Chemie GmbH
- 当前专利权人地址： DEX Munchen
- 优先权： DEX19847099 19981013
- 主分类号： B07B1/00
- IPC分类号： B07B1/00 ; B07B1/46 ; C01B33/02 ; B07B1/22 ; B03B9/00
摘要：
A method and a device for the separation of semiconductor material has the separation procedure carried out on screens coated with ice made of ultrapure water, optionally mixed with particles of semiconductor material. During the separation, the screens are sprayed with ultrapure water and the screen holes are cut free.
公开/授权文献
- US5553508A Portable intelligent whole air sampling system 公开/授权日：1996-09-10
信息查询
IPC分类:
