发明授权
- 专利标题： Dual plate gas assisted heater module
- 专利标题（中）： 双板气辅助加热器模块
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申请号： US84754申请日： 1998-05-26
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公开(公告)号： US6079928A公开(公告)日： 2000-06-27
- 发明人: Victor J. Theriault , Mark Ives
- 申请人： Victor J. Theriault , Mark Ives
- 申请人地址： MA Chelmsford
- 专利权人： Brooks Automation, Inc.
- 当前专利权人： Brooks Automation, Inc.
- 当前专利权人地址： MA Chelmsford
- 主分类号： B65G49/00
- IPC分类号： B65G49/00 ; B65G49/07 ; C23C14/54 ; C23C14/56 ; H01L21/00 ; B65G25/00
摘要：
A dual plate gas assisted heater module having a vertically movable poppet movable between an upper and a lower subchamber has a passive heating feature which preheats a substrate prior to introducing it into a subchamber for active heating.
公开/授权文献
- USD404781S Putter head 公开/授权日：1999-01-26
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IPC分类:
