发明授权
- 专利标题： Fluorinated solvent compositions containing hydrogen fluoride
- 专利标题（中）： 含氟化氢的氟化溶剂组合物
-
申请号： US09541453申请日： 2000-03-31
-
公开(公告)号： US06310018B1公开(公告)日： 2001-10-30
- 发明人: Frederick E. Behr , Lawrence A. Zazzera , Paul E. Rajtar , Michael J. Parent
- 申请人： Frederick E. Behr , Lawrence A. Zazzera , Paul E. Rajtar , Michael J. Parent
- 主分类号： C09K1300
- IPC分类号： C09K1300
摘要：
A homogeneous compositions containing a fluorinated solvent, hydrogen fluoride, and a co-solvent, and the use of these compositions for cleaning and etching of substrates is described.