发明授权
US06395567B1 Process control using ideal die data in an optical comparator scanning system
失效
在光学比较器扫描系统中使用理想的裸片数据进行过程控制
- 专利标题： Process control using ideal die data in an optical comparator scanning system
- 专利标题（中）： 在光学比较器扫描系统中使用理想的裸片数据进行过程控制
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申请号： US09109114申请日： 1998-07-02
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公开(公告)号： US06395567B1公开(公告)日： 2002-05-28
- 发明人: Paul J. Steffan , Allen S. Yu
- 申请人： Paul J. Steffan , Allen S. Yu
- 主分类号： G01R3126
- IPC分类号： G01R3126
摘要：
A method of detecting defects on dice in semiconductor wafer wherein each dice in a layer is scanned and data from each dice is compared to data collected from an ideal dice obtained from the same level on a pre-production wafer. The data from each dice is compared in an optical comparator with data from the ideal dice stored in a register.
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