发明授权
US06648201B1 Apparatus to reduce wasting of unused photoresist in semiconductor containers
失效
减少半导体容器中未使用的光致抗蚀剂浪费的装置
- 专利标题： Apparatus to reduce wasting of unused photoresist in semiconductor containers
- 专利标题（中）： 减少半导体容器中未使用的光致抗蚀剂浪费的装置
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申请号： US10050514申请日： 2002-01-16
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公开(公告)号： US06648201B1公开(公告)日： 2003-11-18
- 发明人: Vincent Marinaro , Ted Wakamiya , Gerry Peffer
- 申请人： Vincent Marinaro , Ted Wakamiya , Gerry Peffer
- 主分类号： B67D560
- IPC分类号： B67D560
摘要：
The present invention provides for a geometrically shaped pouch and container system for use in the storage, handling and dispensing of liquid chemicals. This system will result in far greater liquid chemical utilization efficiencies.
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