发明授权
US06685539B1 Processing tool, method of producing tool, processing method and processing apparatus
有权
组合加工工具和硅工件的加工系统，以及在硅工件上进行固定研磨研磨工艺的方法
- 专利标题： Processing tool, method of producing tool, processing method and processing apparatus
- 专利标题（中）： 组合加工工具和硅工件的加工系统，以及在硅工件上进行固定研磨研磨工艺的方法
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申请号： US09639239申请日： 2000-08-16
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公开(公告)号： US06685539B1公开(公告)日： 2004-02-03
- 发明人: Toshiyuki Enomoto , Yasuhiro Tani , Shigeru Inoue
- 申请人： Toshiyuki Enomoto , Yasuhiro Tani , Shigeru Inoue
- 优先权： JP11-237467 19990824; JP11-260799 19990914; JP11-278608 19990930; JP11-306335 19991028
- 主分类号： B24B100
- IPC分类号： B24B100
摘要：
A processing tool is used to carry out a fixed-abrasive grinding process on a surface of a silicon work-piece. The processing tool includes abrasive grains made up silica grains. A primary average grain size of the silica grains is desirably 0.8 nm to 10 &mgr;m.
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