发明授权
US06783704B1 Method and agent for producing hydrophobic layers on fluoride layers
有权
在氟化物层上生产疏水层的方法和试剂
- 专利标题： Method and agent for producing hydrophobic layers on fluoride layers
- 专利标题（中）： 在氟化物层上生产疏水层的方法和试剂
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申请号： US09959982申请日： 2001-11-14
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公开(公告)号： US06783704B1公开(公告)日： 2004-08-31
- 发明人: Uwe Anthes , Reiner Dombrowski , Martin Friz
- 申请人： Uwe Anthes , Reiner Dombrowski , Martin Friz
- 优先权： DE19922523 19990515
- 主分类号： C23C1412
- IPC分类号： C23C1412
摘要：
Process for the production of hydrophobic layers on optical substrates which have an alkaline earth metal fluoride or alkali metal fluoride layer as the outermost layer or consist of alkaline earth metal fluorides or alkali metal fluorides, by thermal vapor deposition with polyfluorohydrocarbons in a high vacuum.
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