发明授权
- 专利标题： Humidity sensor
- 专利标题（中）： 湿度传感器
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申请号： US10157134申请日： 2002-05-30
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公开(公告)号： US06812821B2公开(公告)日： 2004-11-02
- 发明人: Hiroki Fujita , Tetsuo Yamada , Satoshi Sugaya , Kenji Kato , Noboru Ishida , Takafumi Oshima
- 申请人： Hiroki Fujita , Tetsuo Yamada , Satoshi Sugaya , Kenji Kato , Noboru Ishida , Takafumi Oshima
- 优先权： JPP.2001-165318 20010531; JPP.2001-165319 20010531
- 主分类号： H01C700
- IPC分类号： H01C700
摘要：
A humidity sensor comprising an insulating substrate, a detection electrodes and a moisture-sensitive layer, wherein the moisture-sensitive layer is a porous layer and has a thickness not greater than 200 &mgr;m.
公开/授权文献
- US20020190840A1 Humidity sensor 公开/授权日：2002-12-19
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