发明授权
- 专利标题： High-flow microvalve
- 专利标题（中）： 高流量微型阀
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申请号： US10676469申请日： 2003-09-30
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公开(公告)号： US06986365B2公开(公告)日： 2006-01-17
- 发明人: Albert K. Henning , Michael Selser , Bradford A. Cozad
- 申请人： Albert K. Henning , Michael Selser , Bradford A. Cozad
- 申请人地址： US CA Menlo Park
- 专利权人： Redwood Microsystems
- 当前专利权人： Redwood Microsystems
- 当前专利权人地址： US CA Menlo Park
- 代理机构： Fernandez & Associate LLP
- 主分类号： F16K1/42
- IPC分类号： F16K1/42
摘要：
A method for achieving high flow in valves with small actuation distance is described. A detailed description for a silicon microvalve is provided. An algorithm is described for designing optimized valves.
公开/授权文献
- US20050067029A1 High-flow microvalve 公开/授权日：2005-03-31