发明授权
- 专利标题： Stacked lens structure and method of use thereof for preventing electrical breakdown
- 专利标题（中）： 叠层透镜结构及其用于防止电击穿的方法
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申请号： US10908397申请日： 2005-05-10
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公开(公告)号： US07045794B1公开(公告)日： 2006-05-16
- 发明人: James Spallas , Lawrence Muray
- 申请人： James Spallas , Lawrence Muray
- 申请人地址： US CA Lafayette
- 专利权人： Novelx, Inc.
- 当前专利权人： Novelx, Inc.
- 当前专利权人地址： US CA Lafayette
- 代理机构： Squire, Sanders & Dempsey L.L.P.
- 代理商 Aaron Wininger
- 主分类号： H01J37/26
- IPC分类号： H01J37/26
摘要：
A micro-electrical system, such as a lens stack for use in a scanning electron microscope, analysis tool, etc., comprises recesses and/or serrations that increase the surface path breakdown, thereby increasing reliability and enabling high voltage operations.
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