Alignment of semiconductor wafers and other articles

发明授权

US07052229B2 Alignment of semiconductor wafers and other articles 失效

标题翻译：半导体晶片和其他物品的对准

摘要：

A wafer or some other article is aligned while being held by an end-effector.

摘要（中）：

晶片或一些其它制品在被末端执行器保持的同时对准。

公开/授权文献

信息查询

Espacenet

IPC分类:

B	作业；运输
B65	输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G	运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机（包装用的入B65B；搬运薄的或细丝状材料如纸张或细丝入B65H；起重机入B66C；便携式或可移动的举升或牵引器具，如升降机入B66D；用于装载或卸载目的的升降货物的装置，如叉车，入B66F9/00；不包括在其他类目中的瓶子、罐、罐头、木桶、桶或类似容器的排空入B67C9/00；液体分配或转移入B67D；将压缩的、液化的或固体化的气体灌入容器或从容器内排出入F17C；流体用管道系统入F17D）
B65G49/00	其他类目不包含的以其要求特定目的为特点的输送系统
B65G49/05	.用于易碎或易损的物料或物件
B65G49/07	..用于半导体晶片的